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Pura Plus在線微量濕度異動變送器

  • 更新時間：  2024-11-23
  • 產(chǎn)品型號：  
  • 簡單描述
  • Pura Plus在線微量濕度異動變送器是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)Z末端，用來監(jiān)測超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。
詳細介紹
Pura Plus在線微量濕度異動變送器尺寸和指標的需求變化而特殊設(shè)計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)zui末端，用來監(jiān)測超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后，會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計、元件故障或過程出錯等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應(yīng)指示，在 20 ppb 濕氣級別下
1 ppb 的異動的響應(yīng)時間小于1 分鐘。
 

亮點

  • 對 ppb 級別濕度異動的快速響應(yīng)
  • 低濕 ppb 級別的靈敏度 (<1 ppb)
  • 多點測量安裝的全新概念
  • 維護要求低
  • 信號燈式的狀態(tài)指示
  • 可設(shè)置警告和報警點
  • Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容
  • 遠程控制界面的多通道軟件
  • (UHP) 超純氣體的管線檢測
 

技術(shù)指標

響應(yīng)速度<1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應(yīng)時間
濕度量程1 ppb to 20,000 ppm
壓力范圍0 to 10 bar
耐壓等級300 bar
泄漏測試0-9 mbar l/s
工作流量范圍1 ~ 10 l/min
工作溫度5 ~ 40°C
存儲溫度30 ~ 70°C
電源20 ~ 28 V DC
功耗5 W zui大
外部保險絲等級500 mA 快熔型
數(shù)據(jù)輸出Modbus ASCII 兩線 RS485
警告和報警輸出2 路
zui大電壓40 V DC
zui大電流100 mA
氣體接觸的材質(zhì)
外殼材質(zhì)不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra
傳感器結(jié)構(gòu)氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護, 下層鋁層
內(nèi)部容積4.4cm³
重量450g
氣路接口1/4" m VCR
電氣接口9 - 針 D - 型 m 接口
電磁兼容性EN50081-2 和 EN50082-2

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